第一、換風(fēng)

　　花費(fèi)要素自變量：

　　凈化車(chē)間內(nèi)的氣體分派機(jī)器設(shè)備（一般 是裝修吊頂過(guò)濾裝置）被設(shè)計(jì)方案成“自噴式”，用于出示統(tǒng)一的、清潔的已過(guò)慮的氣體。向屋子補(bǔ)充的含塵量，令人想到與一般的淋浴頭反過(guò)來(lái)的消防龍頭。這種規(guī)范出示了潔凈室主要參數(shù)、等級(jí)分類(lèi)和檢驗(yàn)方式的基本方針，但仍未表明怎樣經(jīng)濟(jì)發(fā)展合理地做到規(guī)定。這是由于每個(gè)加工過(guò)程和潔凈室外的規(guī)定是不一樣的，因而，能夠 選用不一樣的循環(huán)含塵量，做到預(yù)估的自然環(huán)境規(guī)定。

　　生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)空氣污染物的比例和具體顆粒造成狀況，是危害潔凈室氣體換風(fēng)的關(guān)鍵要素。在加工過(guò)程中，不對(duì)別的要素造成一切危害的狀況下，消除顆粒的速率是十分關(guān)鍵的。別的將會(huì)危害循環(huán)氣體總數(shù)的要素是：屋子的構(gòu)造、機(jī)器設(shè)備的部位、機(jī)器設(shè)備外表溫度、空氣對(duì)流、氣旋種類(lèi)（單邊根據(jù)項(xiàng)目區(qū)或是根據(jù)全空間）、實(shí)際操作室內(nèi)空間和規(guī)章制度、應(yīng)用的原材料和化學(xué)品等。

　　第二、單邊的、流場(chǎng)的、豎直或水準(zhǔn)氣旋

　　在很多實(shí)例中，單邊氣旋只在小室內(nèi)空間和凈化車(chē)間的敏感區(qū)內(nèi)應(yīng)用，而且應(yīng)用微自然環(huán)境�？諝馕廴疚锏母�源將會(huì)存有于手套箱、過(guò)慮控制模塊等地區(qū)。大部分設(shè)計(jì)方案為總體單邊氣旋潔凈室外的計(jì)劃方案，僅有在這種地區(qū)中沒(méi)有作業(yè)者、生產(chǎn)線設(shè)備和排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)備時(shí)才可以完成單邊氣旋。豎直或水準(zhǔn)氣旋的挑選，在于屋子的構(gòu)造和機(jī)器設(shè)備的放置部位，流場(chǎng)就可以將空氣污染物帶去。

　　第三、空氣凈化系統(tǒng)軟件

　　依據(jù)潔凈室外的主要用途，還可以挑選別的的機(jī)器設(shè)備，比如，在循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)加新風(fēng)系統(tǒng)解決系統(tǒng)軟件中，應(yīng)用HEPA過(guò)濾裝置用碳吸咐或類(lèi)似作用的生成過(guò)濾裝置解決VOC，靜電感應(yīng)過(guò)慮箱，這些。

　　第四、氣體CPU

　　新風(fēng)系統(tǒng)解決空調(diào)機(jī)組[Make-upAHUs]。典型性的家用新風(fēng)系統(tǒng)解決了制冷機(jī)組(中、低等制冷機(jī)組)為呼吸系統(tǒng)制冷機(jī)組(二級(jí)制冷機(jī)組)出示必需的家用新風(fēng)系統(tǒng)的難題。新風(fēng)系統(tǒng)由抽濾排煙風(fēng)機(jī)、軸流式或plug離心風(fēng)機(jī)再加過(guò)濾裝置、加熱和再熱用開(kāi)水風(fēng)機(jī)盤(pán)管、制冷和去濕應(yīng)用的冷藏水風(fēng)機(jī)盤(pán)管、蒸氣和隔熱空氣加濕器等構(gòu)成。配件和差別包含靜電感應(yīng)氣體切換閥、蒸氣加熱風(fēng)機(jī)盤(pán)管、超音波空氣加濕器、食鹽水、去濕用的立即互換[Dx]或乙二醇超低溫冷藏風(fēng)機(jī)盤(pán)管、VOC吸咐過(guò)濾裝置、噪音衰減器，VFP（直流變頻）驅(qū)動(dòng)器等。

　　多種循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)空調(diào)機(jī)組根據(jù)排風(fēng)管，再歷經(jīng)ULPA過(guò)濾裝置或HEPA過(guò)濾裝置，將氣體送進(jìn)潔凈室，在潔凈室等級(jí)為10級(jí)和1級(jí)的清潔間的裝修吊頂上，這種過(guò)濾裝置一般 是100%遮蓋。豎直單邊氣旋往下根據(jù)清潔間，越過(guò)帶孔的防靜電地板磚進(jìn)到木地板下邊的送風(fēng)室內(nèi)空間，再根據(jù)豎直送風(fēng)夾道往上進(jìn)到裝修吊頂送風(fēng)靜壓箱。隨后，氣體再度進(jìn)到循環(huán)系統(tǒng)風(fēng)空調(diào)機(jī)組，之上的氣體循環(huán)系統(tǒng)再度反復(fù)。如果是應(yīng)用裝修吊頂離心風(fēng)機(jī)過(guò)濾裝置，在離心風(fēng)機(jī)過(guò)濾裝置上邊的裝修吊頂室內(nèi)空間時(shí)，能夠 安裝水或立即互換制冷[DX-cooled]風(fēng)盤(pán)完成表層制冷。

　　第五、氣體壓力差

　　潔凈室增加是務(wù)必的，它的功效是保證潔凈室杜絕其鄰近地區(qū)的環(huán)境污染，操縱危害空氣污染物的流入，避免 不一樣區(qū)域間的交叉式環(huán)境污染，并協(xié)助維持所規(guī)定的溫度和環(huán)境濕度水準(zhǔn)。

　　很多微電子技術(shù)和光刻技術(shù)潔凈室取得成功地選用處于被動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)氣壓操縱，僅有在大門(mén)口所有開(kāi)啟的狀況下，入口的排風(fēng)量保持在每分50到100英尺。一些生物醫(yī)藥公司規(guī)定積極壓力差操縱，選用填補(bǔ)新風(fēng)系統(tǒng)的方法，全自動(dòng)補(bǔ)充根據(jù)門(mén)泄露的氣體（當(dāng)門(mén)開(kāi)啟時(shí)）。

　　第六、溫控

　　溫度和環(huán)境濕度的轉(zhuǎn)變可以造成生產(chǎn)線設(shè)備的偏差，進(jìn)而危害加工過(guò)程的精確性，最后造成 良品率減少、提升消耗。因而，潔凈室對(duì)溫度嚴(yán)控規(guī)定是不言而喻的，此項(xiàng)花費(fèi)是務(wù)必的。