1、十萬級無塵車間的地面應整體性好、平整、耐磨、耐撞擊、不易積聚靜電、易除塵清洗，地面墊層應配筋，潮濕地區(qū)應做防潮處理。

　　2、十萬級無塵車間的建筑圍護界區(qū)和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。十萬級無塵車間車間內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應平整、光潔、無裂縫、接口嚴密，無顆粒。

　　3、十萬級無塵車間內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應平整、光潔、無裂縫、接口嚴密，無顆粒物脫落，并應耐清洗和耐酸堿，墻壁和地面、吊頂結(jié)合處做成弧形，踢腳不宜高出墻面，當采用輕質(zhì)材料融斷時，應采用防碰撞措施。

　　4、技術夾層為輕質(zhì)吊頂時，設置檢修通道。建筑風道和回風地溝的內(nèi)表面裝修標準，應與整個送回風系統(tǒng)相適應并易于除塵。

　　5、十萬級無塵車間的建筑圍護界區(qū)和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料